Fischer膜厚仪的标准片校准方法介绍
更新时间:2021-12-28 点击次数:2220次
Fischer膜厚仪的优点在于它是非接触测量,不会因为磨损而损失精度,尤其适用于在运动中或恶劣环境中进行多点测量。而且,相对于超声波测厚仪精度更高,相对X射线测厚仪没有辐射污染。因此,在在线厚度测量方面具有明显的优势。
用Fischer膜厚仪在测金属镀层厚度时进行的标准化校准及建立测试档案。也就是我们在膜厚测试中常用的标准曲线法,是测量已知厚度或组成的标准样品,根据荧光X-射线的能量强度及相应镀层厚度的对应关系,来得到标准曲线。之后以此标准曲线来测量未知样品,以得到镀层厚度或组成比率。对于PCB、五金电镀和半导体等行业使用测厚仪来检测品质和控制成本起到了很重要的作用。
下面小编要与大家分享的是Fischer膜厚仪的标准片校准方法:
一、校准箔
对于磁性方法,“箔”是指非磁性金属或非金属的箔或垫片。对于涡流方法,通常采用塑料箔。“箔”有利于曲面上的校准,而且比用有覆盖层的标准片更合适。
二、基体
1、对于磁性方法,膜厚仪标准片基体金属的磁性和表面粗糙度,应与待测试件基体金属的磁性和表面粗糙度相似。对于涡流方法,标准片基体金属的电性质,应当与待测试件基体金属的电性质相似。为了证实标准片的适用性,可用标准片的基体金属与待测试件基体金属上所测得的读数进行比较。
2、如果待测试件的金属基体厚度没有超过表一中所规定的临界厚度,可采用下面两种方法进行校准:
(1)在与待测试件的金属基体厚度相同的金属标准片上校准。
(2)用一足够厚度的,电学性质相似的金属衬垫金属标准片或试件,但必须使基体金属与衬垫金属之间无间隙。对两面有覆盖层的试件,不能采用衬垫法。