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表A.1 常见覆盖层测量的*测量范围 |
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μm |
in |
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铝 |
铜 |
0~100.0 |
0~0.004 |
镉 |
铁 |
0~60.0 |
0~0.0024 |
铜 |
铝 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
铜 |
铁 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
铜 |
塑料 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
金 |
陶瓷 |
0~8.0 |
0~0.00032 |
金 |
铜和镍 |
0~8.0 |
0~0.00032 |
铅 |
铜和镍 |
0~15.0 |
0~0.0006 |
镍 |
铝 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
镍 |
陶瓷 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
镍 |
铜 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
镍 |
铁 |
0~30.0 |
0~0.0012 |
钯 |
镍 |
0~40.0 |
0~0.0016 |
钯-镍合金 |
镍 |
0~20.0 |
0~0.0008 |
铂 |
钛 |
0~7.0 |
0~0.00028 |
铑 |
铜或镍 |
0~50.0 |
0~0.0020 |
银 |
铜或镍 |
0~50.0 |
0~0.002 |
锡 |
铝 |
0~60.0 |
0~0.0024 |
锡 |
铜或镍 |
0~60.0 |
0~0.0024 |
锡-铅合金 |
铜或镍 |
0~40.0 |
0~0.0016 |
锌 |
铁 |
0~40.0 |
0~0.0016 |
注1:在整个范围内测量不确定度不是恒定的,而且靠近每个范围两端会增大。
注2:所给定的范围是近似的,而且主要取决于可接受的测量不确定度。
注3:如果同时测量表层和中间层,由于荧光X射线光束的各种相互作用,即表层会吸收中间层的荧光,那么各覆盖层材料可测厚度范围会发生变化,例如测量在铜上的金和镍时,若金覆盖层厚度超过2.0微米,则无足够的荧光保证镍层高精度测量。
注4:当进行厚度大于0微米(如铜或镍上的金:±0.005微米)覆盖层厚度测量过程中,测量不确定度。这就必须了解测量范围的下线。